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특허

진공챔버를 포함하는 펄스 레이저 증착 설비 2019-08-07

  • 등록번호
    10-2010319
  • 등록일자
    2019-08-07
  • 출원국가
    대한민국
  • 발명자
    방승철,박원기,박영식,문봉곤,강용우,이대희
  • 관련과제
    극미광 검출을 위한 고감도 ICCD (Intensified CCD) 기술(3차년도)