보유기술
[원격관측기] 극자외선 영상 센서 2023-10-05
- 기술명극자외선 영상 센서
- 기술분야원격관측기
- 기술의 특장점
- 기술현황(응용연구 단계) 분석과 실험을 통한 기술개념 검증
- 사업화분야반도체, 정밀 측정 분야
- 관련지식재산권
- 전문가연락처천문우주기술센터 박종엽
자외선은 지구대기에 의해 흡수되기 때문에 자외선 관측은 주로 지구 대기층이 얇은 높은 고도나 우주에서 수행한다. 뜨겁고 파란 별로부터 나오는 열복사와 방출선들을 연구하는 데 활용되어 왔으며, 행성상 성운, 초신성잔해, 활동 은하핵 등을 연구하는 데도 활용된다. 특히 태양활동 연구에도 활용되고 있다.
반도체 회로를 그릴 때 아주 짧은 EUV 파장으로 그릴 때 매우 세밀한 회로를 그릴 수 있는 장점이 있다. 마스크라는 곳에 회로를 그려두고 빛을 투과시켜 웨이퍼에 그림을 그리는데 빛이 투과할 때 아주 좁은 구멍을 지날수록 빛이 더 많이 퍼지는 문제가 있다. 파장이 길수록 더 많이 퍼지게 되고, 파장이 짧을수록 덜 퍼지게 된다. 자외선 센서 기술은 EUV 노광 장비를 개발하기 위한 여러 핵심 기술 중 하나이기도 하다.
반도체 회로를 그릴 때 아주 짧은 EUV 파장으로 그릴 때 매우 세밀한 회로를 그릴 수 있는 장점이 있다. 마스크라는 곳에 회로를 그려두고 빛을 투과시켜 웨이퍼에 그림을 그리는데 빛이 투과할 때 아주 좁은 구멍을 지날수록 빛이 더 많이 퍼지는 문제가 있다. 파장이 길수록 더 많이 퍼지게 되고, 파장이 짧을수록 덜 퍼지게 된다. 자외선 센서 기술은 EUV 노광 장비를 개발하기 위한 여러 핵심 기술 중 하나이기도 하다.